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產品簡介

Universal射頻電源是用于半導體生產和等離子工藝的新一代多功能全固態(tài)射頻電源；使用全數字化控制技術。典型應用于等離子體刻蝕，PECVD，射頻濺射、平行板、射頻激光、ICP、RIE、CVD和PVD等半導體及太陽能薄膜的典型工藝。

Universal射頻電源采用了先進的高效率高穩(wěn)定性的射頻功放技術。這種技術能有效地減少功率損耗，提高設備的壽命。

快速智能的駐波（VSWR）保護功能，Universal系列射頻電源的駐波保護能在負載出現異常后毫秒級的時間內快速啟動，可以及時的可靠的保護射頻電源不因負載的異常（比如負載打火，腔體突變或者匹配器不穩(wěn)定等等）而損壞；并且在負載恢復后射頻電源能在毫秒級的時間內的自動解除駐波恢復正常輸出，整個過程無需人為干預。

高可靠性，Universal 系列射頻電源有20%以上的輸出功率余量，從而確保能長期穩(wěn)定的工作。

先進的射頻功率測量系統，Universal系列射頻電源的測量系統采用V/I Sensor測量技術，此測量技術與常見的定向耦合器測量技術相比具有高敏感性、高準確性的優(yōu)勢，可以更精確的測量入射和反射功率。

更寬的功率輸出范圍，Universal系列射頻電源采用先進的功放技術，射頻電源的輸出功率能從1%起調，輸出功率的范圍為1%至最大輸出功率連續(xù)可調。

Universal射頻電源能工作在入射功率調節(jié)和負載功率調節(jié)兩種模式。另外提供兩種不同的控制方法：

1. 遠程控制：支持模擬控制，RS232和網口

2. 面板控制：使用前面板上的開關、RF POWER功率調節(jié)旋鈕、LED顯示；

尺寸

電氣規(guī)格

散熱及環(huán)境規(guī)格