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產(chǎn)品簡介

Universal射頻電源是用于半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子工藝的新一代多功能全固態(tài)射頻電源；使用全數(shù)字化控制技術(shù)。典型應(yīng)用于等離子體刻蝕，PECVD，射頻濺射、平行板、射頻激光、ICP、RIE、CVD和PVD等半導(dǎo)體及太陽能薄膜的典型工藝。

Universal射頻電源采用了先進(jìn)的高效率高穩(wěn)定性的射頻功放技術(shù)。這種技術(shù)能有效地減少功率損耗，提高設(shè)備的壽命。

快速智能的駐波（VSWR）保護(hù)功能，Universal系列射頻電源的駐波保護(hù)能在負(fù)載出現(xiàn)異常后毫秒級的時間內(nèi)快速啟動，可以及時的可靠的保護(hù)射頻電源不因負(fù)載的異常（比如負(fù)載打火，腔體突變或者匹配器不穩(wěn)定等等）而損壞；并且在負(fù)載恢復(fù)后射頻電源能在毫秒級的時間內(nèi)的自動解除駐波恢復(fù)正常輸出，整個過程無需人為干預(yù)。

高可靠性，Universal 系列射頻電源有20%以上的輸出功率余量，從而確保能長期穩(wěn)定的工作。

先進(jìn)的射頻功率測量系統(tǒng)，Universal系列射頻電源的測量系統(tǒng)采用V/I Sensor測量技術(shù)，此測量技術(shù)與常見的定向耦合器測量技術(shù)相比具有高敏感性、高準(zhǔn)確性的優(yōu)勢，可以更精確的測量入射和反射功率。

更寬的功率輸出范圍，Universal系列射頻電源采用先進(jìn)的功放技術(shù)，射頻電源的輸出功率能從1%起調(diào)，輸出功率的范圍為1%至最大輸出功率連續(xù)可調(diào)。

Universal射頻電源能工作在入射功率調(diào)節(jié)和負(fù)載功率調(diào)節(jié)兩種模式。另外提供兩種不同的控制方法：

1. 遠(yuǎn)程控制：支持模擬控制，RS232和網(wǎng)口

2. 面板控制：使用前面板上的開關(guān)、RF POWER功率調(diào)節(jié)旋鈕、LED顯示；

尺寸

電氣規(guī)格

散熱及環(huán)境規(guī)格