三相20000W水冷電源
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
Lighting自動(dòng)匹配器是設(shè)計(jì)用來(lái)將等離子體腔體工作時(shí)的阻抗（容性或感性）自動(dòng)轉(zhuǎn)換成為能使射頻功率源輸出最大功率的狀態(tài)。Lighting自動(dòng)匹配器是設(shè)計(jì)為頻率范圍為1MHz至81MHz，功率范圍為100W至30kW的射頻功率源提供能使其輸出最大功率的阻抗。
Lighting自動(dòng)匹配器采用全數(shù)字控制模式，極大的提高了匹配速度和匹配精度，同時(shí)也大大的增加了應(yīng)用的靈活性。
Lighting自動(dòng)匹配器采用了優(yōu)化算法能在根據(jù)負(fù)載的阻抗調(diào)節(jié)電容轉(zhuǎn)速的同時(shí)避免目前PECVD設(shè)備中普遍存在的多匹配器之間的干擾問(wèn)題，達(dá)到更快更精確的匹配效果而且提高了Lighting自動(dòng)匹配器的穩(wěn)定性及使用壽命。
Lighting自動(dòng)匹配器主要采用L型拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，具有較寬的匹配范圍，甚至是很小的阻抗；能廣泛地使用與各種容性或感性的阻抗；典型應(yīng)用于等離子體刻蝕，PECVD，射頻濺射、平行板、射頻激光、ICP、RIE、CVD和PVD等半導(dǎo)體及太陽(yáng)能薄膜的典型工藝。
Lighting自動(dòng)匹配器使用能耐大電流，高電壓的真空功率器件，使其能工作在大電流和高電壓的情況下，同時(shí)這些真空功率器件能為Lighting自動(dòng)匹配器提供比空氣電容更加精準(zhǔn)的匹配，從而大幅度地減少了反射功率。
Lighting自動(dòng)匹配器能實(shí)時(shí)監(jiān)控等離子腔體的自偏壓和射頻峰值電壓，為射頻功率源提供實(shí)時(shí)的自偏壓和峰值信號(hào)。
Lighting自動(dòng)匹配器采用了延時(shí)和定點(diǎn)采樣技術(shù)，即使射頻電源工作在脈沖模式也不影響匹配速度和效果。
尺寸
描述 | 產(chǎn)品規(guī)格 |
匹配器安裝 | 直接安裝到等離子體腔體上；或者安裝到預(yù)留的安裝板上 |
尺寸 | 485（長(zhǎng)）×340（寬）×200（高）mm |
連接接頭規(guī)格 | |
前面板上User Port接頭 | DB15母頭 |
RS232通信接頭 | DB9 母頭 |
前面板上RF IN輸入接頭 | 7/16 同軸連接器 母頭 |
后面板上RF OUT輸出接頭 | 根據(jù)客戶要求定制 |
前面板上AC MAINS輸入 | IEC 320連接器 |
內(nèi)部電感規(guī)格及拓?fù)浣Y(jié)構(gòu) | |
拓?fù)浣Y(jié)構(gòu) | L型 |
抽頭電感 | 3 圈，帶有三個(gè)抽頭 |
輸出電感 | 3至14圈不等，根據(jù)客戶需求選擇 |
電氣規(guī)格
描述 | 產(chǎn)品規(guī)格 |
工作頻率 | 40.68MHz±5% |
AC MAINS 輸入電壓 | 100Vac 至240Vac 單相 |
AC MAINS 輸入頻率 | 50Hz 至60Hz |
AC MAINS 輸入電流 | 0.7A 至1.0A |
最高傳輸功率 | 10kW |
最大RF 負(fù)載電壓 | 5000Vpk |
最大RF負(fù)載電流 | 80A RMS |
射頻功率源的輸入阻抗 | 50Ω |
匹配時(shí)間 | <1s,處在預(yù)設(shè)位置 |
匹配范圍 | 實(shí)部：+1Ω至+45Ω 虛部：-220jΩ至+100jΩ (需根據(jù)客戶的負(fù)載情況由技術(shù)人員確定具體所需的阻抗范圍) |
自動(dòng)匹配完成后反射功率 | 小于設(shè)定功率值的1% |
不同功率下匹配器的安全范圍 | 技術(shù)人員將根據(jù)客戶具體使用的阻抗范圍確定匹配器在不同功率工作下的安全范圍 |
散熱及環(huán)境規(guī)格
描述 | 規(guī)格 |
冷卻方式 | 風(fēng)冷和水冷 |
最小空氣流量 | 150立方米每小時(shí) |
運(yùn)行環(huán)境溫度 | +5℃至+40℃ |
運(yùn)行環(huán)境濕度 | 5%至70% |
運(yùn)行環(huán)境氣壓 | 78kPa至106kPa |
冷卻水溫度 | +20℃至+30℃ |
水流速 | >5升每分鐘 |
水壓 | >2bar(29psi) |
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