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自動匹配器 Lighting 1540

自動匹配器 Lighting 1540

Lighting系列自動匹配器具有以下特點：1、快速、智能的匹配算法 2、 自動匹配、高可靠性 3、先進的射頻功率測量系統(tǒng) 4、更寬的功率范圍 5、全數(shù)字化控制技術 6、支持脈沖工作模式

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概述
Lighting系列自動匹配器具有以下特點：1、快速、智能的匹配算法 2、 自動匹配、高可靠性 3、先進的射頻功率測量系統(tǒng) 4、更寬的功率范圍 5、全數(shù)字化控制技術 6、支持脈沖工作模式
詳細信息

產(chǎn)品簡介

Lighting自動匹配器是設計用來將等離子體腔體工作時的阻抗（容性或感性）自動轉換成為能使射頻功率源輸出最大功率的狀態(tài)。Lighting自動匹配器是設計為頻率范圍為1MHz至81MHz，功率范圍為100W至30kW的射頻功率源提供能使其輸出最大功率的阻抗。

 

Lighting自動匹配器采用全數(shù)字控制模式，極大的提高了匹配速度和匹配精度，同時也大大的增加了應用的靈活性。

 

Lighting自動匹配器采用了優(yōu)化算法能在根據(jù)負載的阻抗調節(jié)電容轉速的同時避免目前PECVD設備中普遍存在的多匹配器之間的干擾問題，達到更快更精確的匹配效果而且提高了Lighting自動匹配器的穩(wěn)定性及使用壽命。

 

Lighting自動匹配器主要采用L型拓撲結構，具有較寬的匹配范圍，甚至是很小的阻抗；能廣泛地使用與各種容性或感性的阻抗；典型應用于等離子體刻蝕，PECVD，射頻濺射、平行板、射頻激光、ICP、RIE、CVD和PVD等半導體及太陽能薄膜的典型工藝。

 

Lighting自動匹配器使用能耐大電流，高電壓的真空功率器件，使其能工作在大電流和高電壓的情況下，同時這些真空功率器件能為Lighting自動匹配器提供比空氣電容更加精準的匹配，從而大幅度地減少了反射功率。

 

Lighting自動匹配器能實時監(jiān)控等離子腔體的自偏壓和射頻峰值電壓，為射頻功率源提供實時的自偏壓和峰值信號。

 

Lighting自動匹配器采用了延時和定點采樣技術，即使射頻電源工作在脈沖模式也不影響匹配速度和效果。



尺寸

描述

產(chǎn)品規(guī)格

匹配器安裝

直接安裝到等離子體腔體上；或者安裝到預留的安裝板上

尺寸

485（長）×300（寬）×175（高）mm

連接接頭規(guī)格

前面板上User Port接頭

DB15母頭

RS232通信接頭

DB9 母頭

前面板上RF IN輸入接頭

7/16 同軸連接器 母頭

后面板上RF OUT輸出接頭

根據(jù)客戶要求定制

前面板上AC MAINS輸入

IEC 320連接器

內部電感規(guī)格及拓撲結構

拓撲結構

L型

抽頭電感

3 圈，帶有三個抽頭

輸出電感

3至14圈不等，根據(jù)客戶需求選擇

 

電氣規(guī)格

描述

產(chǎn)品規(guī)格

工作頻率

40.68MHz±5%

AC MAINS 輸入電壓

100Vac 至240Vac 單相

AC MAINS 輸入頻率

50Hz 至60Hz

AC MAINS 輸入電流

0.7A 至1.0A

最高傳輸功率

1500W

最大RF 負載電壓

5000Vpk

最大RF負載電流

40A RMS 

射頻功率源的輸入阻抗

50Ω

匹配時間

<1s,處在預設位置

匹配范圍

實部：+1Ω至+45Ω

虛部：-220jΩ至+100jΩ

(需根據(jù)客戶的負載情況由技術人員確定具體所需的阻抗范圍)

自動匹配完成后反射功率

小于設定功率值的1%

不同功率下匹配器的安全范圍

技術人員將根據(jù)客戶具體使用的阻抗范圍確定匹配器在不同功率工作下的安全范圍

 

散熱及環(huán)境規(guī)格

描述

規(guī)格

冷卻方式

風冷

最小空氣流量

150立方米每小時

運行環(huán)境溫度

+5℃至+40℃

運行環(huán)境濕度

5%至70%

運行環(huán)境氣壓

78kPa至106kPa